18024408928

18024408928

首页 > 新闻中心

半导体行业常用直线电机类型及选型指南

在半导体制造中，直线电机已成为“精度、速度、洁净”的代名词。高智精工把晶圆厂最常用的电机归纳为五大类，并给出典型参数区间，方便工程师一键匹配工艺需求。

一、平板直线电机（Iron-core Flat Type）

• 结构：铁芯线圈 + 平板磁轨，推力密度最高。

• 典型推力：80–2000 N；持续推力密度 3–5 N/cm²。

• 典型应用：晶圆切割、CMP 抛光台、固晶机 XY 平台 。

• 选型要点：适合重载、长行程，但需加磁栅全密封以防铁粉吸附。

二、U型无铁芯直线电机（U-channel Coreless）

• 结构：无铁芯线圈在 U 型磁轨中悬浮运行，零齿槽力。

• 典型推力：10–500 N；加速度可达 10 g。

• 典型应用：晶圆 AOI 高速扫描、EFEM 晶圆搬送、激光直写 。

• 选型要点：轻负载、高动态、洁净室 Class 1–100 首选。

三、音圈直线电机（Voice Coil Linear）

• 结构：圆柱形或扁平形，行程短（<40 mm），响应毫秒级。

• 典型推力：5–300 N；定位精度 ±0.5 µm。

• 典型应用：固晶机 Z 轴力控、探针台软着陆、贴片机吸嘴 。

• 选型要点：需要力/位混合控制，可选内置应变片闭环。

四、无槽直线电机（Slotless Ironless）

• 结构：无槽无铁芯，磁路与线圈完全分离，零磁吸力。

• 典型推力：20–400 N；速度 5 m/s 以上。

• 典型应用：光刻机掩模台、双驱龙门对准平台 。

• 选型要点：纳米级轨迹跟踪，需配合 0.1 nm 光栅尺。

五、磁轴式直线电机（Shaft Linear Motor）

• 结构：永磁轴 + 空心线圈滑块，行程可无限拼接。

• 典型推力：30–800 N；防护等级 IP65 以上。

• 典型应用：晶圆传输机械手、真空搬运模组 。

• 选型要点：真空兼容、磁轴可穿墙密封，适合 EFEM/Loadport。

选型速查表

image.png

结语

半导体行业的直线电机早已不是“单选题”，而是“工艺-负载-环境”的多维匹配。高智精工建议：先锁定工艺环节，再对照上表选电机类型，最后确认洁净等级与真空需求，即可在光刻、检测、封装三大工序一次选对、一步到位。

< 返回列表

相关新闻

选型导航

查看全部

立即获取解决方案

在线咨询

在线咨询

与专业人员在线沟通，快速获取你想要的解决方案

客服热线

18024408928

微信咨询