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面板搬运机械臂高速定位方案

问题:搬运震动导致面板微裂纹

使用环境:Class 1000洁净室,地面微振动<1μm

配置说明:GG系列直线电机模组

表现:搬运速度1.5m/s,破损率<0.001%

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