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激光玻璃划线机无崩边切割

问题:机械应力导致边缘微裂纹

使用环境:Class 1000洁净室,湿度≤30%

配置说明:直线电机模组+皮秒激光器+真空吸附台

使用表现:切割速度1.5m/s,崩边宽度2.5μm

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